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當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心實(shí)驗室氣體配比器氣體液體配比器KT-C4ZS質(zhì)量流量計智能氣體配比器

質(zhì)量流量計智能氣體配比器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量計智能氣體配比器,可選配七星各種系列流量計,觸摸屏控制調節不同時(shí)間不同流量氣體,操控簡(jiǎn)單,

產(chǎn)品型號:KT-C4ZS
更新時(shí)間:2024-03-29
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1244

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CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專(zhuān)門(mén)為大規模集成電路裝備設計的產(chǎn)品,該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上,采用了基于DF的壓力信號補小償算法,全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝,產(chǎn)品各項技術(shù)指標均嚴格按照SEM標準,支持Ⅵ型,C型GS氣路系統。

• 準確度采用設定點(diǎn)精度,產(chǎn)品精度可達±1.0% S.P.,響應時(shí)間最快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能,對前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補償,減少壓力變化對瞬時(shí)流量影響,從而保證產(chǎn)品工作的穩定性和準確性。

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質(zhì)量流量計智能氣體配比器KT-C4ZS資料                                                                                    ;

產(chǎn)品型號

KT-PCS4Z

KT-C4ZS

 氣體通道

4進(jìn)1

4進(jìn)1

可根據需求定制

產(chǎn)品類(lèi)型

高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制

可選量程

20sccm-30slm(氣體量程根據客戶(hù)需要可選)

產(chǎn)品精度

高精度型±1%F.S

普通型±1%F.S

重復精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

線(xiàn)性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

響應時(shí)間

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

供電電源

~85-265VAC 50/60Hz

最大功耗

40W

進(jìn)氣口壓

0.6MPa

連接管道

316不銹鋼管道

截止閥類(lèi)型

電磁閥

單向閥開(kāi)啟壓力

0.02Mpa

壓力顯示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸觸摸屏智能調節

時(shí)間設定

0-32000分鐘

清洗功能

一鍵清洗

程序控制

5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設定值)

壓力顯示

有(出氣壓力檢測且有壓力上限設置過(guò)壓切斷總輸出氣路)

氣體混合罐

有(內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻)

氣體加熱

無(wú)(可選配氣體混合罐加熱,加熱溫度室溫至350℃可調)

流量累計

有(累計當前運行總流量)

可選進(jìn)出氣口接頭形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭

抗電磁干擾

外形尺寸

550x380x400mm

重量

18KG~20KG



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